Ứng dụng gốm bán dẫn:
-Kim nhẫn
- Máy điều hòa CMP Pad
-Crucibles tăng trưởng tinh thể
-E-mâm cặp
-Edge Chamber thành phần
-End Effectors
-Feed-throughs
-Nhà lắp ráp
-Hệ thống tia nước-Ion
-Lift Pins-Paddles
-Pin Chucks
-Nguồn cung cấp năng lượng
-RTP Edge Ring
-Nhập mục tiêu
-Kẹp an toàn
- Khác
